光刻胶产业化再度传出利好。
小程序开发据东湖国度自主翻新示范区官网本日（10月15日）音讯，近日武汉太紫微光电科技有限公司（下称“太紫微公司”）推出的T150 A-光刻胶居品，已通过半导体工艺量产考据，终结配方全自主缠绵。
该居品“对标国际头部企业主流KrF光刻胶系列。相较于海外同系列居品UV1610，T150 A在光刻工艺中发挥出的极限分辨率达120nm，且工艺宽厚度更大，踏实性更高，坚膜后烘留膜率优秀，其对后谈刻蚀工艺发挥更为友好，通过考据发现T150 A中密集图形进程刻蚀，基层介质的侧壁垂直度发挥优异”。
据悉，太紫微公司由华中科技大学武汉光电国度推敲中心团队创立。该团队立足于关节光刻胶底层技能研发，在电子化学品限制深耕二十余载。武汉光电国度推敲中心是科技部于2017年批准建造的第一批，亦然独一的一批6个国度推敲中心之一，其前身为2003年获批的武汉光电国度推行室（筹）。
值得注重的是，天眼查信息泄漏，太紫微公司确立于2024年5月31日，注册老本200万元，实控东谈主为朱明强，最终受益股份77%。
除了朱明强本东谈主外，太紫微公司的另外两家推动，湖北高碳光电科技有限公司、武汉市马斯洛普处罚接头结伙企业，朱明强则永诀合手股100%和8%。
华中大学官网尊府泄漏，朱明强为华中科技大学武汉光电国度推敲中心二级教育，光学与电子信息学院双聘教育。主要推敲限制为有机及纳米光电子学，推敲标的包括聚会于光刻制造、有机纳米光电子学和超分辨率成像。
▌太紫微公司的KrF光刻胶居品，是什么水平？
一位光刻胶厂商东谈主士向《科创板日报》记者示意，国产对标海外厂商UV1610居品的光刻胶量产照实是个好音讯。
不外，在KrF系列光刻胶居品中，T150 A对标的UV1610居品算是“很常用的胶”，门槛不算高，但由于常用是以需求量会比拟大。UV1610居品北京科华、徐州博康等国内厂商王人有身手坐褥。
从市集竞争情况来看，“UV1610这一款居品，本色留给其他厂商的市集空间并未几。”据上述东谈主士称，刻下北京科华径直代理了UV1610的原厂，主要为原厂提供代工，其他厂商“玩不了”。而徐州博康主打配方和坐褥“寰宇产”，有身手作念UV1610，不外刻下要点更多放在BARC（底部抗反射涂层）居品上。
其进一步指出，APP开发资讯太紫微光称其居品已通过半导体工艺量产考据，并终结配方全自主缠绵，但最终成效仍是要看市集与客户的响应。据先容，光刻胶居品在客户端考据周期每每需要2年。
▌国产光刻胶走到了哪一步？
刻下，我国半导体光刻胶国产化率仍处于较低水平。数据泄漏，其中KrF、ArF光刻胶对外依赖最为严重，国产化率均仅在1%水平。
西部证券指出，我国半导体光刻胶市集超90%主要依赖入口，原土厂商虽起步较晚，但刻下处于国产化加快期。彤程新材、华懋科技、晶瑞电材、上海新阳等国内公司均有G/I线、KrF、ArF胶布局，开发重点为普适性光刻胶和技能难度较低的锻真金不怕火制程光刻胶，使居品导入后能大界限诓骗，在居品开发和考据上合手续与下流晶圆厂进行积极联结。
据《科创板日报》不十足统计，国内已有多家公司有KrF光刻胶居品布局：
上海新阳称，KrF光刻胶已有销售，销量逐渐增多，合肥工场刻下在试坐褥阶段；晶瑞电材多款KrF光刻胶已量产并供应多家半导体客户。
另外，鼎龙股份称已开发出7款KrF光刻胶居品，包括1款能达到KrF极限分辨率120nm L/S 和130nm Hole的光刻胶；八亿时空上海半导体姿首已见效终结KrF光刻胶用PHS树脂百公斤级别的量产；飞凯材料光致抗蚀剂居品包括诓骗于半导体限制的i-line及KrF光刻配套Barc材料。
“从根底上来说，国产光刻胶的上游原材料仍是要依靠入口，需要冲突的是配方，刻下国产的光刻胶原材料配方踏实性等较海外有差距。”还有光刻胶从业者向《科创板日报》记者示意，“除了原材料配方以外的技能限制的冲突，难度并不算大。”
有新材料限制产业基金投资东谈主士分析合计，“从细分维度来看，原材料、配方这两大身分较为关节。像降本、冲突性能目的，匹配下搭客户等需要依靠这两部分终结冲突。在此基础上，再是坐褥工艺、开采等方面冲突，这些会对降本等产生径直影响。”
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另有新材料限制投资东谈主士合手有一样不雅点并示意，国内当今主要推敲的是光刻胶原材料配方。“相较于技能冲突，更值多礼贴的是这家公司（太紫微公司）使用的主料、辅料王人是那处采购的。刻下，国内企业在光刻胶原材料方面存在一定的入口依赖，国内关系光刻胶原材料基本王人从日本入口。不甩掉开释这种音讯（小K注：指太紫微公司光刻胶居品通过半导体工艺量产考据），是为企业造势的可能。”
对于太紫微公司T150 A居品的客户端考据进展APP开发资讯，以及后续居品系列的研发谋划，《科创板日报》记者尝试通过电子邮件与朱明强赢得关系，但轨则发稿未获复兴。